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SEC-8000F/D 系列, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實現(xiàn)超潔凈狀況下百萬分之一級別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體制程需求。 而HORIBA集團也為可以給客戶提供全系列的產(chǎn)品而感到驕傲。

• 具備數(shù)字式流量計的高精度性能-高控制精度：±1.0% 設(shè)定流量.
• 超快速響應(yīng)
• 超潔凈處理
• 滿足RoHS 環(huán)境標準