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MKS質量流量控制器

MKS 600壓力控制儀表

產品分類:MKS質量流量控制器

產品介紹

MKS651C自調節(jié)/數字PID壓力控制器
651型自調節(jié)/數字PID閥門控制器可以快速、**的驅動
MKS的653或者253型排氣節(jié)流閥。它的自調節(jié)算法使它可以比普通的控制器更快地達到系統(tǒng)的設定點,并確保在沒有操作工參與的情況下保證工藝菜單的可重復性。通過了解時間常數、閥門和管道的傳輸函數、閥門增益和其它重要參數,651的自調節(jié)功能可在閥門的設定范圍內決定*佳的控制參數。

MKS 651C訂購資料:

例如:型號651CD2S1N

通訊界面 采購序列號

RS232 2

閥門驅動器

步進電機 S

電源 :0.5Amp   1.5Amp 2

選配件  無 N

備用電池 B

651C的配套電纜線:

輸入電纜:

CB112-2-10 用于將651連接到MKS 223,225,622,623,722(接線端子)

CB259-5-10 用于將651連接到624,625,626,627,628,722(15針接口)

CB120-6-10 用于將651連接到120

CB112-10-10 用于將651連接到220

CB112-14-10 用于將651連接到121,221

閥門電纜線:

CB652-1-10 用于將651連接到653B

CB651-30-10 用于將651連接到253B

上一個 INHA MF10C質量流量計控制器
 
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