|
INFICON PCG400和PCG410型復(fù)合皮拉尼與電容膜片技術(shù)用于從5X10-4至1500毫巴（3.8X10-4至1125乇）精確度和可重復(fù)的壓強測量。與對流增強型皮拉尼不同，PCG可任意方向安裝，便于靈活地添加探頭。
特點：
■任意方向安裝
■放空快速響應(yīng)，縮短周期時間
■快速與可靠的讀值，無需大氣壓調(diào)節(jié)
■單一對數(shù)/線性模擬輸出訊號
■易于工藝集成
■小型結(jié)構(gòu)，節(jié)省有價值的工藝空間
應(yīng)用：
■自鎖
■前級壓強監(jiān)測
■真空系統(tǒng)中的安全電路
■在中真空和粗真空范圍內(nèi)一般測量與控制
■控制高真空電離真空計
CDG采用直接測量單位面積力的原理，避免了過程時間的延遲。這個精度與響應(yīng)時間的改進消除了在抽空和放空過程中的過沖現(xiàn)象。PCG裝備有INFICON專利的皮拉尼技術(shù)，在傳感器的整個測量范圍內(nèi)產(chǎn)生優(yōu)異的響應(yīng)時間特性，提高產(chǎn)量和生產(chǎn)率。
|